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干涉测定传感器制造技术
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文档序号:13795841
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提供一种干涉测定传感器和相关方法,具有:感测元件,由此,被测对象在两个波之间引起相对相移;至少一个检测器,其测量两个波之间的干扰信号,并且还包含:相移检测单元,具有干扰信号作为输入并且确定代表相对相移的主值的第一测量;以及对比度检测单元,具...
该专利属于ABB瑞士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ABB瑞士有限公司授权不得商用。
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