下载包括金刚石层以及金刚石和碳化硅以及任选的硅的复合层的基板的技术资料

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多层基板包括在复合层上CVD生长的金刚石层。该复合层包括金刚石和碳化硅与任选的硅的颗粒。该复合层中的金刚石的载荷水平(按体积计)可为≥5%、≥20%、≥40%、或≥60%。该多层基板能够用作光学器件;用于检测辐射粒子或电磁波的检测器;用于切...
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