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本发明公开了一种异常机台的检测方法和检测设备。其中，该方法包括：接收晶圆抽取设备发送的对应至少两台机台的抽取顺序信息，其中，该至少两台机台分别对应不同的抽取顺序信息；在该晶圆按照该抽取顺序信息依次通过该至少两台机台的腔体后，根据该抽取顺序信...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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