下载IGBT元胞结构及其制造工艺的技术资料

文档序号:13790540

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本发明涉及一种IGBT元胞结构,IGBT元胞结构的多晶硅孔为八边形。本发明IGBT元胞结构及其制造工艺,(1)IGBT有源区元胞也就是多晶硅孔,类似八边形,但较八边形形状平滑。此形状结合整个IGBT元胞结构,较现有的六边形、长条形、方形元胞...
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