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基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器及其测量电路、标定系统技术方案
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下载基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器及其测量电路、标定系统的技术资料
文档序号:13785697
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本实用新型公开了一种基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器、测量电路、标定系统,包括受力底座和压电式传感单元,压电式传感单元包括两个水平方向平行且间隔设置的传感器芯片;传感器芯片包括依次层叠设置的基底层、粘合层、氧化锌种子层、PR窗口层、...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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