下载伽利略望远镜组与柱面镜组合式二维位置测量光学系统的技术资料

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本实用新型涉及一种伽利略望远镜组与柱面镜组合式二维位置测量光学系统,以解决现有光学系统在二维测量时长度尺寸易受限制的问题。本实用新型包括光源合作目标、伽利略望远镜组、分光镜组、柱面镜组、线阵CCD组;测量时,将被测物体与在光源合作目标固连;...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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