下载一种压电振动陀螺仪谐振子、其制作方法及压电振动陀螺的技术资料

文档序号:13781666

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本发明属于惯性导航器件领域,具体涉及一种压电振动陀螺仪谐振子、其制作方法及镀制BFO薄膜作为驱动与检测电极的压电振动陀螺仪。本发明的目的是针对当前压电振动陀螺仪压电电极材料以及粘胶的使用对陀螺仪的Q值造成抑制,降低陀螺仪Q值、精度及灵敏度等...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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