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本发明公开了一种具有优良场发射性能的金属纳米颗粒/金刚石复合膜及其制备方法，属于光电子材料技术领域。利用离子注入技术，将能量为100~500 keV、剂量为1016离子/cm2‑1017离子/cm2的金属离子注入到金刚石薄膜中，然后使薄膜分...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

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