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多区反应器、包括该反应器的系统和使用该反应器的方法技术方案
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下载多区反应器、包括该反应器的系统和使用该反应器的方法的技术资料
文档序号:13775486
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本发明涉及多区反应器、包括该反应器的系统和使用该反应器的方法。示例性多区反应器包括可移动的感受器组件和可移动的板。可移动的感受器组件和可移动的板能在反应器的反应区之间竖直地移动,以使基底暴露于多个过程或多种反应物。...
该专利属于ASMIP控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASMIP控股有限公司授权不得商用。
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