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本发明属微电子器件集成与散热技术领域,尤其涉及一种基于压电微泵的嵌入式制冷器件及其制备方法。该制冷器件包括微流道和压电微泵两部分；微流道为单独对应单个芯片，设置于芯片下方；压电微泵置于微流道下方。本发明中，微流道是为每个芯片散热，尺寸更加微...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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