下载一种高质量p型氧化亚铜薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:13765877

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本发明公开了一种高质量p型氧化亚铜薄膜的制备方法,其步骤如下:将铜片清洗后用氮气吹干;再放在管式炉的石英管内,通入氩气做保护气体,以15℃/min的速度升温至1050‑1100℃,并保温一个小时;1050‑1100℃下,通入空气将铜片氧化,...
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