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氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法技术
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文档序号:13765828
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本发明公开了一种氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法,包括如下步骤:1)配制混合粉料;2)配制预混液;3)配制固化剂;4)坩埚素坯的制作,本发明的氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法采用了硅酸乙酯和酸性硅溶胶为主的预混液,与含有二正丁胺的固化剂...
该专利属于顾向欣所有,仅供学习研究参考,未经过顾向欣授权不得商用。
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