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本发明提供了一种气体分布器及包含该气体分布器的气体分布系统，所述气体分布器包括至少一个气体分布盘，所述气体分布盘为由若干波纹片组装而成的盘式结构，所述波纹片的波棱不沿竖直方向设置，相邻两个所述波纹片的波棱的倾斜方向相反。本发明的气体分布器一...
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