下载一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法的技术资料

文档序号:13746327

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本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法,包括以下步骤:将HF、HNO3、H2O和添加剂配制成第一制绒溶液;将H2O2、HF和H2O配制成第二制绒溶液;将硅片先后浸入到第一制绒溶液和第二制绒溶液进行制绒,本发明采用两步制绒法,先利用传统的...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。

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