专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
华南师范大学
>
一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法技术
>技术资料下载
下载一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法的技术资料
文档序号:13746327
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法,包括以下步骤:将HF、HNO3、H2O和添加剂配制成第一制绒溶液;将H2O2、HF和H2O配制成第二制绒溶液;将硅片先后浸入到第一制绒溶液和第二制绒溶液进行制绒,本发明采用两步制绒法,先利用传统的...
该专利属于华南师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南师范大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。