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本发明涉及一种离子束刻蚀机。离子束刻蚀机包括真空工作腔室、工件安装平台、多轴运动系统、离子源，多轴运动系统包括多个依次连接的直线运动模组，相邻的直线运动模组之间相互垂直，直线运动模组包括直线导轨和直线运动元件，后级直线运动模组与前级直线运动...
该专利属于苏州至臻精密光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州至臻精密光学有限公司授权不得商用。

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