下载多方向宽频压电MEMS振动能量采集器的技术资料

文档序号:13726671

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多方向宽频压电MEMS振动能量采集器,包括基座、多个压电悬臂梁、微弹簧、弹簧底座、永磁铁、软磁铁。所述的压电悬臂梁由下电极层、环氧树脂粘接层、压电厚膜层、上电极层和支撑层组成;压电悬臂梁阵列在基座空腔位置均匀布置,且每个压电悬臂梁的一端固定...
该专利属于南昌工程学院所有,仅供学习研究参考,未经过南昌工程学院授权不得商用。

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