专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
株式会社思可林集团
>
基板处理方法以及基板处理装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载基板处理方法以及基板处理装置的技术资料
文档序号:13711820
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
基板处理方法包括:基板保持工序,水平地保持基板;液膜形成工序,向所述基板的上表面供给处理液,形成覆盖该基板的上表面的处理液液膜;第1气体喷出工序,在所述液膜形成工序后,从第1喷出口喷出第1气体,使所述第1气体从与该上表面交叉的方向向所述处理...
该专利属于株式会社思可林集团所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社思可林集团授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。