下载一种电子产品防护涂层的制备方法及应用的技术资料

文档序号:13708051

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本发明公开了一种电子产品防护涂层的制备方法及其应用,本发明采用引发式化学气相沉积方法在电子产品表面形成防护涂层。制备步骤包括:将电子产品放入反应腔内的样品台台上,利用真空控制系统排出腔体中的空气,使反应腔内处于真空状态;将反应气体按照预设的...
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