温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种化学气相沉积炉用石墨沉积装置，包括固体原料盛放装置；置于所述固体原料盛放装置顶部的盖板；所述盖板上设置有气流孔；具有至少两个以上纵向设置的沉积室的沉积机构；所述沉积机构设置于所述盖板顶部，所述盖板作为沉积机构的底板；所述...
该专利属于清远先导材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清远先导材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。