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一种采用原子层沉积法原位制备氧化物/金属铁磁性异质结的方法技术
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下载一种采用原子层沉积法原位制备氧化物/金属铁磁性异质结的方法的技术资料
文档序号:13685930
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本发明提供了一种采用原子层沉积法原位制备氧化物/金属铁磁性异质结的方法,该方法采用原子层沉积法,以二茂铁作为铁源,氧气作为氧源,在金属衬底上沉积四氧化三铁,通过原子层沉积系统将二茂铁与氧气交替通入原子层沉积系统的反应腔内,实现四氧化三铁在不...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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