下载清净化多结晶硅块破碎物的制造装置及利用该制造装置制造清净化多结晶硅块破碎物的方法的技术资料

文档序号:13676818

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本发明提供一种制造装置,能够通过吹出的气流更有效率地除去多结晶硅块破碎后混入其中的金属微粉或硅微粉等。这种清净化多结晶硅块破碎物的制造装置包括:输送带,最好是网状,用以搬运多结晶硅块破碎物;吹飞用气流喷射器,设置于该输送带的移动面的上方,吹...
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