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本发明提供一种形状测量装置、加工装置、及形状测量方法本发明的形状测量装置通过将3个位移计配设成一列而成的检测仪对测量对象物进行扫描，并且对测量对象物的表面形状进行测量，该形状测量装置具备：间隙计算机构，根据3个位移计中的位于中间的位移计所测...
该专利属于住友重机械工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友重机械工业株式会社授权不得商用。

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