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一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪制造技术
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下载一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪的技术资料
文档序号:13672201
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本发明公开了一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪,其采用声光移频器外差干涉移相,有效避免干涉仪存在运动件,测量精度进一步提高,抗干扰性好,且研制难度与成本可以降低;尤其对于大口径面形的测量,相比机械驱动同样的优势更明显;同时,采用了双光纤插...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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