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本发明公开了一种多晶硅生产中尾气和/或残液处理工艺及装置，该工艺是将尾气和/或残液送入淋洗塔中，采用质量浓度2‑5%弱酸水在逆流状态进行喷淋清洗，清洗后的气体进入液封罐内采用清水进行净化，最后出来的气体放空；清洗后的液体作为弱酸水循环喷淋；...
该专利属于宜昌南玻硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宜昌南玻硅材料有限公司授权不得商用。

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