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提供压印光刻术模板卡盘和相关系统以及方法，其基本上保持结构支承功能，同时大大地提高压印质量功能。卡盘纳入了动态真空密封件，以在对齐和畸变纠正过程中显著地减小模板接触，同时在分离时仍然提供良好的结构支承。...
该专利属于佳能纳米技术公司;株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过佳能纳米技术公司;株式会社东芝授权不得商用。

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