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本发明提供了一种铜元素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒、其抛光液组合物及其制备方法。本发明的铜元素掺杂氧化硅溶胶复合磨粒，所述的复合磨粒按照重量百分数由以下成分组成：含铜化合物0.1‑5wt.%；氧化硅溶胶99.9‑95 wt.%。本发明的复合磨粒...
该专利属于江苏天恒纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天恒纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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