温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硅片高效扩散炉，包括炉体和炉门，炉体内设有石英舟，在炉体的上端开设有进气口，进气口连接进气管，在炉体的底部开设有出气口，且出气口连接尾气排放管，在炉体的炉口处设有炉门，炉门的中心设有转轴，炉门的外壁上固定设有凸起，在炉门上开...
该专利属于温州隆润科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过温州隆润科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。