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本发明提供一半导体模板，其包含：一基板、一缓冲层及一磊晶层。缓冲层位于基板的一表面，且缓冲层包括一第一次缓冲层及一第二次缓冲层，两者依序相叠。缓冲层具有不规则的裂痕，使缓冲层具有不连续之上表面。裂痕的深度大于或等于第二次缓冲层的厚度，且小于...
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