专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
江南大学
>
一种纳米薄膜的原子层沉积定量建模方法技术
>技术资料下载
下载一种纳米薄膜的原子层沉积定量建模方法的技术资料
文档序号:13633535
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种纳米薄膜的原子层沉积工艺的定量建模方法,该建模方法以流体动力学理论为基础,包括以下步骤:(1)构建原子层沉积工艺进行的流体域结构模型;(2)初始边界条件设置;(3)有机金属化合物的理化属性计算;(4)多组分的气质传输过程设置...
该专利属于江南大学所有,仅供学习研究参考,未经过江南大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。