下载图案检查装置及图案检查方法的技术资料

文档序号:13633285

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本发明提供一种图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置包括孔部信息获取部,获取表示一个目视孔部的目视孔部区域的中心的坐标;线方向确定部,确定与形成有目视孔部的目视焊盘相连接的目视线以目视焊盘为起点而延伸的线方向;判别点获取部,将检查图像中,...
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