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本实用新型公开了一种基底交接装置，包括直线电机组件、升降板、接板手组件及控制传感器组件，所述直线电机组件包括底座、外壳体、电机动子及电机定子，所述外壳体位于所述底座上方，所述电机动子与所述电机定子以同心圆方式设置在所述外壳体内，所述升降板安...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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