下载一种长杆状可伸缩旋转型离子源的技术资料

文档序号:13616517

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本实用新型公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源,包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座,以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管,离子源外部长杆上套设有压块座,压块座通过压紧螺栓向上固定在...
该专利属于中国科学院等离子体物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院等离子体物理研究所授权不得商用。

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