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膜厚的检测装置制造方法及图纸
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下载膜厚的检测装置的技术资料
文档序号:13611344
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本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括至少一个公共电极与至少一个检测芯片,各检测芯片包括:检测电极阵列,包括多个检测电极且与公共电极在第一方向上相对且间隔设置;复位单元,与检测电极阵列中的各检测电极电连接并将其上的电信号复位;初始放...
该专利属于威海华菱光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威海华菱光电股份有限公司授权不得商用。
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