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本发明为一种融合了MEMS平动微镜与扭转微镜技术的傅里叶红外光谱仪系统，包括主干涉仪和辅助干涉仪系统两个子系统，主、辅两个干涉仪共用一个平动微镜。其中的扭转微镜采用扭力梁结构，静电或磁感应方式驱动，可以实现高速旋转摆动，频率从几十赫兹至几千...
该专利属于南开大学;江西理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南开大学;江西理工大学授权不得商用。

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