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本发明公开了一种多谐波外差锁定视场展宽迈克尔逊干涉仪的装置。本发明通过相位调制的方式产生等频率间距的多谐波成分，这些谐波分量被FWMI透过率函数调制后发生外差过程，从而能生成反映FWMI谐振频率漂移大小和方向信息的反馈信号。在反馈控制的不断...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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