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压电驱动装置、机器人及这些的驱动方法制造方法及图纸
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文档序号:13587271
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本发明的课题在于提供一种高输出并且小型且轻量的压电驱动装置的适当结构。本发明的解决手段是压电驱动装置具备振动板和多个压电驱动部,该多个压电驱动部分别具有设置于振动板且能够与被驱动体接触的接触部。...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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