下载提高LED发光效率的外延生长方法的技术资料

文档序号:13582924

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本申请公开了一种提高LED发光效率的外延生长方法,依次包括:处理衬底、生长低温缓冲层GaN、生长不掺杂GaN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长发光层、生长P型AlGaN层、生长掺杂Mg的P型GaN层,降温冷却,尤其是,在所述生长掺杂Si的...
该专利属于湘能华磊光电股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘能华磊光电股份有限公司授权不得商用。

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