下载用于将多个薄的固体层与厚的固体分离的组合制造方法的技术资料

文档序号:13582740

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于制造固体层的方法。制造方法至少包括下述步骤:提供用于分离多个固体层(4)的固体(2);在固体(2)中引入或产生缺陷,用于预设第一剥离平面(8),沿着所述第一剥离平面将第一固体层(4)与固体(2)分离;设置容纳层(10),用...
该专利属于西尔特克特拉有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过西尔特克特拉有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。