下载一种石墨舟自动清洗装置的技术资料

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本实用新型提供了一种石墨舟自动清洗装置,通过隔膜循环泵将氢氟酸经由管路补充至设备内,加液过程中安全门完全闭合,氢氟酸与外界隔绝,且当安全门被打开时加液自动停止,不会发生液体飞溅,保障了操作人员安全;所用的氢氟酸用量,鼓泡清洗时间、水浴去酸时...
该专利属于天津英利新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津英利新能源有限公司授权不得商用。

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