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本揭露提供一种硫属化物薄膜的制造方法。此方法包括：提供基底于腔室中；实行第一原子层沉积工艺以形成第一氧化物薄膜于基底上方；实行第一硫属化工艺，包括注入第一硫属元素，以使第一氧化物薄膜转变为第一硫属化物薄膜；于第一硫属化物薄膜上实行退火工艺。...
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