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支持压力传感器的自校准的传感器网络制造技术
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下载支持压力传感器的自校准的传感器网络的技术资料
文档序号:13551875
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本发明涉及支持压力传感器的自校准的传感器网络。压力传感器系统包括用于基于来自静电力的薄膜偏转或薄膜位移和来自附加传感器的单个参考压力而对传感器参数进行自校准的一个或多个自校准压力传感器。附加传感器具有比自校准传感器更大的准确度水平或范围。传...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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