下载热传递界面结构以及其制造方法的技术资料

文档序号:13550846

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本发明揭示一种热传递界面结构以及其制造方法。衬底具有在所述衬底的至少一个表面上形成的多个凸起特征。所述凸起特征在压缩力下可变形并且在其末端部分具有对应开口。凸起特征在其所述末端部分的厚度小于所述凸起特征在所述凸起特征的中间部分的厚度。...
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