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制备光致产酸单体的方法。一种制备单体的方法，包括：使得如通式(I)所示的磺内酯与含有可聚合的基团的亲核体进行反应，其中，每个R独立地为F，C1‑10烷基，氟‑取代的C1‑10烷基，C1‑10环烷基，或氟‑取代的C1‑10环烷基，条件是至少一...该专利属于罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗门哈斯电子材料有限公司;陶氏环球技术有限公司授权不得商用。