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本发明公开了一种用于太赫兹无损检测的扫描台、扫描成像装置及方法，该扫描台包括第一支架，所述第一支架上安装有X轴支撑导向机构，所述X轴支撑导向机构上设置有第一滑块，第一滑块在X轴传动机构的作用下，沿X轴支撑导向机构作直线运动；第一滑块上安装有...
该专利属于山东省科学院自动化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过山东省科学院自动化研究所授权不得商用。

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