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本实用新型提供一种双面研磨机用精密加压系统反馈装置，安装在机台上盘机构的接水槽处，所述精密加压系统反馈装置包括球轴承浮动机构，所述球轴承浮动机构上安装有法兰，所述法兰上连接有传感器，所述传感器内安装有连接轴，所述连接轴上连接有加压气缸。本实...
该专利属于东莞金研精密研磨机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞金研精密研磨机械制造有限公司授权不得商用。

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