下载一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统的技术资料

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本发明提供一种用于激光干涉仪测量导轨直线度的光学系统,包括:探测光学组件、光学转向镜、可旋转激光头和外光路组件,光束通过所述探测光学组件实现双通道的光学探测,所述光学转向镜用于实现光束的下移和转向以适应所述探测光学组件的探测需求,所述可旋转...
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