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一种非晶FeTiO/SiO2/p-Si异质结构材料及其制备方法技术
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下载一种非晶FeTiO/SiO2/p-Si异质结构材料及其制备方法的技术资料
文档序号:13508515
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一种非晶FeTiO/SiO2/p‑Si异质结构材料,由p‑Si薄膜层、SiO2薄膜层和非晶FeTiO薄膜层组成并形成异质叠层结构FeTiO/SiO2/p‑Si,各薄膜层的厚度分别为p‑Si薄膜层330μm、SiO2薄膜层2nm、非晶FeTi...
该专利属于天津理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津理工大学授权不得商用。
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