下载TFT基板的制作方法的技术资料

文档序号:13504599

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本发明提供一种TFT基板的制作方法,通过在栅极扫描线的侧边形成防静电凸块,之后在层间绝缘层上形成对应所述防静电凸块上方的第二过孔,从而在沉积源漏极金属层后,所述源漏极金属层通过第二过孔与所述栅极扫描线侧边的防静电凸块相接触,由于所述栅极扫描...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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