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本发明属于薄膜制备领域，具体为一种制备结构可控功能薄膜的装置。该装置为真空装置，由包括一个溅射靶材、一个工件台、一个传动机构和一个转动机构在内的真空腔体组成，传动机构为驱动电机、驱动轴和齿轮传动装置构成，转动机构为分度盘、磁力转动装置、工件...
该专利属于沈阳大学所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳大学授权不得商用。

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