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高对比度光栅光电子器件制造技术
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下载高对比度光栅光电子器件的技术资料
文档序号:13493833
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一种高对比度光栅光电子设备,包括:位于基板前表面处的光电子装置。该光电子装置通过该基板的与前表面相对的后表面来发射光和/或检测光。高对比度光栅(HCG)透镜临近于该基板的后表面并且通过间隔物与后表面间隔开。该间隔物包括晶片键合基板和/或腔。...
该专利属于慧与发展有限责任合伙企业所有,仅供学习研究参考,未经过慧与发展有限责任合伙企业授权不得商用。
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